Technologien für Mikrosysteme : Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
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3184013219
9783540622284
- Maße
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21 cm
- Umfang
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XVII, 221 S.
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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Ill., graph. Darst.
Literaturverz. S. 203 - 208
- Schlagwort
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Mikrosystemtechnik
- Ereignis
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Veröffentlichung
- (wo)
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Düsseldorf
- (wer)
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VDI-Verl.
- (wann)
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1993
- Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
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- Letzte Aktualisierung
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11.06.2025, 13:38 MESZ
Datenpartner
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Beteiligte
- Gronau, Magdala
- Hafkesbrink, Joachim
- VDI-Verl.
Entstanden
- 1993