Technologien für Mikrosysteme : Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
3184013219
9783540622284
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
XVII, 221 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Literaturverz. S. 203 - 208
- Keyword
-
Mikrosystemtechnik
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Düsseldorf
- (who)
-
VDI-Verl.
- (when)
-
1993
- Contributor
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 1:38 PM CEST
Data provider
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Associated
- Gronau, Magdala
- Hafkesbrink, Joachim
- VDI-Verl.
Time of origin
- 1993
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