Hochschulschrift
Laserinduziertes Ätzen zur Strukturierung von Halbleiteroberflächen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
VIII, 129 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
München, Techn. Univ., Diss., 1996
- Schlagwort
-
Indiumphosphid
Ätzen
Kryptonfluoridlaser
Chlor
Halbleiteroberfläche
Auger-Spektroskopie
Linse
Mikrosystemtechnik
Indiumphosphid
Ätzen
Kryptonfluoridlaser
Maskentechnik
- Urheber
-
Weber, Hans
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
24.04.0003, 12:43 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Weber, Hans
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