Hochschulschrift
Laserinduziertes Ätzen zur Strukturierung von Halbleiteroberflächen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
VIII, 129 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
München, Techn. Univ., Diss., 1996
- Keyword
-
Indiumphosphid
Ätzen
Kryptonfluoridlaser
Chlor
Halbleiteroberfläche
Auger-Spektroskopie
Linse
Mikrosystemtechnik
Indiumphosphid
Ätzen
Kryptonfluoridlaser
Maskentechnik
- Creator
-
Weber, Hans
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:43 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Weber, Hans
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