Hochschulschrift

Neuartige Ausheilverfahren in der SOI-CMOSFET-Technologie

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Dresden, Technische Universität Dresden, Diss., 2011

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik
Schlagwort
Transistor
Drain
Planartransistor
Kur
Technologie
Ionenimplantation
Bauelement
VLSI
Blitzlampe
Lasertempern
CMOS

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Dresden
(wer)
Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden
(wann)
2011
Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Dresden
(wer)
Technische Universität Dresden
(wann)
2011
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Gerlach, Gerald
Stenzel, Roland

URN
urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-69821
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:37 MESZ

Datenpartner

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Illgen, Ralf
  • Gerlach, Gerald
  • Stenzel, Roland
  • Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden
  • Technische Universität Dresden

Entstanden

  • 2011

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