Hochschulschrift
Kapazitiv gekoppelte Hochfrequenz-Ionenquelle mit radialer Anordnung der Anregungselektroden für reaktives Ionenstrahlätzen
- Location
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                Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
 
- ISBN
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                9783181460092
 3181460095
 
- Dimensions
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                21 cm
 
- Extent
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                XVIII, 182 S.
 
- Edition
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                Als Ms. gedr.
 
- Language
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                Deutsch
 
- Notes
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                graph. Darst.
 Zugl.: Wuppertal, Univ., Diss., 1992
 
- Bibliographic citation
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                Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 160, Reihe 9
 
- Keyword
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                Ionenstrahlätzen
 Hochfrequenzionenquelle
 
- Event
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                Veröffentlichung
 
- (where)
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                Düsseldorf
 
- (who)
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                VDI-Verl.
 
- (when)
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                1993
 
- Creator
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                Korzec, Dariusz
 
- Table of contents
- Rights
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- Last update
- 
                
                    
                        11.06.2025, 2:15 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Korzec, Dariusz
- VDI-Verl.
Time of origin
- 1993
 
             
        
     
        
    