Hochschulschrift

Kapazitiv gekoppelte Hochfrequenz-Ionenquelle mit radialer Anordnung der Anregungselektroden für reaktives Ionenstrahlätzen

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783181460092
3181460095
Maße
21 cm
Umfang
XVIII, 182 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
graph. Darst.
Zugl.: Wuppertal, Univ., Diss., 1992

Erschienen in
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 160, Reihe 9

Schlagwort
Ionenstrahlätzen
Hochfrequenzionenquelle

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Düsseldorf
(wer)
VDI-Verl.
(wann)
1993
Urheber
Korzec, Dariusz

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:15 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Korzec, Dariusz
  • VDI-Verl.

Entstanden

  • 1993

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