Hochschulschrift

Kapazitiv gekoppelte Hochfrequenz-Ionenquelle mit radialer Anordnung der Anregungselektroden für reaktives Ionenstrahlätzen

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783181460092
3181460095
Dimensions
21 cm
Extent
XVIII, 182 S.
Edition
Als Ms. gedr.
Language
Deutsch
Notes
graph. Darst.
Zugl.: Wuppertal, Univ., Diss., 1992

Bibliographic citation
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 160, Reihe 9

Keyword
Ionenstrahlätzen
Hochfrequenzionenquelle

Event
Veröffentlichung
(where)
Düsseldorf
(who)
VDI-Verl.
(when)
1993
Creator
Korzec, Dariusz

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Last update
11.03.2025, 12:29 PM CET

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Object type

  • Hochschulschrift

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  • Korzec, Dariusz
  • VDI-Verl.

Time of origin

  • 1993

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