Hochschulschrift
Kapazitiv gekoppelte Hochfrequenz-Ionenquelle mit radialer Anordnung der Anregungselektroden für reaktives Ionenstrahlätzen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783181460092
3181460095
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
XVIII, 182 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Zugl.: Wuppertal, Univ., Diss., 1992
- Bibliographic citation
-
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 160, Reihe 9
- Keyword
-
Ionenstrahlätzen
Hochfrequenzionenquelle
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Düsseldorf
- (who)
-
VDI-Verl.
- (when)
-
1993
- Creator
-
Korzec, Dariusz
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 2:15 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Korzec, Dariusz
- VDI-Verl.
Time of origin
- 1993
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