Hochschulschrift
Kapazitiv gekoppelte Hochfrequenz-Ionenquelle mit radialer Anordnung der Anregungselektroden für reaktives Ionenstrahlätzen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783181460092
3181460095
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
XVIII, 182 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
graph. Darst.
Zugl.: Wuppertal, Univ., Diss., 1992
- Erschienen in
-
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 160, Reihe 9
- Schlagwort
-
Ionenstrahlätzen
Hochfrequenzionenquelle
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Düsseldorf
- (wer)
-
VDI-Verl.
- (wann)
-
1993
- Urheber
-
Korzec, Dariusz
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:15 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Korzec, Dariusz
- VDI-Verl.
Entstanden
- 1993
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