Highly-sensitive wafer-scale transfer-free graphene MEMS condenser microphones

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
1 Online-Ressource.
Sprache
Englisch

Erschienen in
Highly-sensitive wafer-scale transfer-free graphene MEMS condenser microphones ; volume:10 ; number:1 ; day:21 ; month:2 ; year:2024 ; pages:1-9 ; date:12.2024
Microsystems & nanoengineering ; 10, Heft 1 (21.2.2024), 1-9, 12.2024

Klassifikation
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Urheber
Pezone, Roberto
Anzinger, Sebastian
Baglioni, Gabriele
Wasisto, Hutomo Suryo
Sarro, Pasqualina M.
Steeneken, Peter
Vollebregt, Sten
Beteiligte Personen und Organisationen
SpringerLink (Online service)

DOI
10.1038/s41378-024-00656-x
URN
urn:nbn:de:101:1-2404291313552.509269259520
Rechteinformation
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 09:02 UTC

Datenpartner

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