Hochschulschrift
Neue Konzepte der Laserstrahlformung und -führung für die Mikrotechnik
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
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9783831602056
3831602050
- Maße
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21 cm, 250 gr.
- Umfang
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152 S.
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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Ill., graph. Darst.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2002
- Schlagwort
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Excimerlaser
Maskentechnik
Strahlführung
Laserbohren
Mikrosystemtechnik
Strahlführung
Strahlqualität
Einspritzdüse
- Ereignis
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Veröffentlichung
- (wo)
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München
- (wer)
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Utz, Wiss.
- (wann)
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2003
- Urheber
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Jasper, Knut
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:42 MESZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Jasper, Knut
- Utz, Wiss.
Entstanden
- 2003