Hochschulschrift

Neue Konzepte der Laserstrahlformung und -führung für die Mikrotechnik

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783831602056
3831602050
Maße
21 cm, 250 gr.
Umfang
152 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2002

Schlagwort
Excimerlaser
Maskentechnik
Strahlführung
Laserbohren
Mikrosystemtechnik
Strahlführung
Strahlqualität
Einspritzdüse

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
München
(wer)
Utz, Wiss.
(wann)
2003
Urheber
Jasper, Knut

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:42 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Jasper, Knut
  • Utz, Wiss.

Entstanden

  • 2003

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