Hochschulschrift
Untersuchungen zum Trockenätzen von Metallen, Halbleitern und Graphit bei besonderer Berücksichtigung des elektroneninduzierten Ätzens in Wasserstoff
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
30 cm
- Extent
-
Getr. Zählung
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Greifswald, Univ., Diss. A, 1990
- Creator
-
Richter, Thomas
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
- 11.06.2025, 2:19 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Richter, Thomas
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