Hochschulschrift

Eine Lithium-Flüssigmetall-Ionenquelle für die Lithographie mit schreibendem Ionenstrahl

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Maße
30 cm
Umfang
77 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Dresden, Techn. Univ., Diss., 1994

Schlagwort
Lithografie
Ionenstrahl
Lithium
Flüssigmetall
Ionenquelle

Urheber
Hesse, Evelyn

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 12:26 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Hesse, Evelyn

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