Hochschulschrift
Heißdraht-CVD von Siliziumschichten : Untersuchungen zur Stabilisierung des Abscheideprozesses
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783839605288
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
IX, 172 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2013
- Bibliographic citation
-
Berichte aus Forschung und Entwicklung / Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik ; Nr. 036
- Keyword
-
Cat-CVD-Verfahren
Silan
Wolframdraht
Phasenumwandlung
Silicide
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Stuttgart
- (who)
-
Fraunhofer-Verl.
- (when)
-
2013
- Creator
-
Laukart, Artur
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
- 11.06.2025, 1:49 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Laukart, Artur
- Fraunhofer-Verl.
Time of origin
- 2013
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