In-situ-Charakterisierung von plasmaunterstützten Beschichtungsprozessen

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783181457085
3181457086
Maße
21 cm
Umfang
VI, 155 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
graph. Darst.
Literaturverz. S. 140 - 155

Erschienen in
Fortschritt-Berichte VDI / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 357, Reihe 08

Schlagwort
Beschichten
Plasmatechnik
Plasmadiagnostik
Beschichten
Plasmatechnik
Dünne Schicht
Diagnosesystem

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Düsseldorf
(wer)
VDI-Verl.
(wann)
1993
Urheber
Koch, Alexander

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:08 MESZ

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Beteiligte

  • Koch, Alexander
  • VDI-Verl.

Entstanden

  • 1993

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