Veröffentlichungen und Vorträge

Akten

Enthält u.a.: Übersichten.- Mitteilungen.- Schriftwechsel mit wissenschaftlichen Einrichtungen.- Vortragsthemen.- Redemanuskripte.- Pläne über die Teilnahme an naturwissenschaftlich-technischen Veranstaltungen im Ausland.- Einladungen.- Vorträge: Einsatz von Teststrukturen bei der FKS Fertigung, Probleme der Fotolithografie kleinster Bauelementestrukturen, Bestimmung der Eindringtiefe von Dotanten in Siliziumdioxidschichten auf Silizium und Erfahrungen beim Einsatz eines Elektronenstrahlbildgenerators.

Object Details

• Reference number: Sächsisches Staatsarchiv, 11718 Zentrum Mikroelektronik Dresden, Nr. 0191 (Zu benutzen im Hauptstaatsarchiv Dresden)

References and Relationships

• Context: 11718 Zentrum Mikroelektronik Dresden >> Archivalien
• Holding: 11718 Zentrum Mikroelektronik Dresden

Contributors, Places and Time

• Date of creation: 1971 - 1973

Further information

• Other object pages: Show object in "Archivportal-D"
• Rights: Es gilt die Sächsische Archivbenutzungsverordnung vom 8. September 2022 (SächsGVBl. S. 526).
• Last update: 21.03.2024, 8:10 AM CET