Veröffentlichungen und Vorträge

Akten

Enthält u.a.: Übersichten.- Mitteilungen.- Schriftwechsel mit wissenschaftlichen Einrichtungen.- Vortragsthemen.- Redemanuskripte.- Pläne über die Teilnahme an naturwissenschaftlich-technischen Veranstaltungen im Ausland.- Einladungen.- Vorträge: Einsatz von Teststrukturen bei der FKS Fertigung, Probleme der Fotolithografie kleinster Bauelementestrukturen, Bestimmung der Eindringtiefe von Dotanten in Siliziumdioxidschichten auf Silizium und Erfahrungen beim Einsatz eines Elektronenstrahlbildgenerators.

Angaben zum Objekt

• Archivaliensignatur: Sächsisches Staatsarchiv, 11718 Zentrum Mikroelektronik Dresden, Nr. 0191 (Zu benutzen im Hauptstaatsarchiv Dresden)

Verweise und Beziehungen

• Kontext: 11718 Zentrum Mikroelektronik Dresden >> Archivalien
• Bestand: 11718 Zentrum Mikroelektronik Dresden

Beteiligte, Orts- und Zeitangaben

• Laufzeit: 1971 - 1973

Weitere Informationen

• Weitere Objektseiten: Objekt im "Archivportal-D" anzeigen
• Rechteinformation: Es gilt die Sächsische Archivbenutzungsverordnung vom 8. September 2022 (SächsGVBl. S. 526).
• Letzte Aktualisierung: 21.03.2024, 08:10 MEZ