Akte

Veröffentlichungen und Vorträge

zu Verbundenen Objekten

Enthält u.a.: Übersichten.- Mitteilungen.- Schriftwechsel mit wissenschaftlichen Einrichtungen.- Vortragsthemen.- Redemanuskripte.- Pläne über die Teilnahme an naturwissenschaftlich-technischen Veranstaltungen im Ausland.- Einladungen.- Vorträge: Einsatz von Teststrukturen bei der FKS Fertigung, Probleme der Fotolithografie kleinster Bauelementestrukturen, Bestimmung der Eindringtiefe von Dotanten in Siliziumdioxidschichten auf Silizium und Erfahrungen beim Einsatz eines Elektronenstrahlbildgenerators.

Archivaliensignatur
11718 Zentrum Mikroelektronik Dresden, Nr. 0191 (Zu benutzen im Hauptstaatsarchiv Dresden)

Kontext
11718 Zentrum Mikroelektronik Dresden >> Archivalien
Bestand
11718 Zentrum Mikroelektronik Dresden

Laufzeit
1971 - 1973

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Letzte Aktualisierung
10.12.2025, 14:32 UTC

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Objekttyp

  • Akten

Entstanden

  • 1971 - 1973

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