- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Erschienen in
-
In: Microelectronic Engineering, 47, 1-4, S. 317-319
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Augsburg
- (wer)
-
Universität Augsburg
- (wann)
-
1999
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Amsterdam
- (wer)
-
Elsevier
- (wann)
-
1999
- Urheber
- DOI
-
10.1016/s0167-9317(99)00223-3
- URN
-
urn:nbn:de:bvb:384-opus4-615087
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:49 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Wixforth, Achim
- Rocke, C.
- Zimmermann, S.
- Kotthaus, J.P.
- Universität Augsburg
- Elsevier
Entstanden
- 1999
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