- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Englisch
- Bibliographic citation
-
In: Microelectronic Engineering, 47, 1-4, S. 317-319
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Augsburg
- (who)
-
Universität Augsburg
- (when)
-
1999
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Amsterdam
- (who)
-
Elsevier
- (when)
-
1999
- Creator
- DOI
-
10.1016/s0167-9317(99)00223-3
- URN
-
urn:nbn:de:bvb:384-opus4-615087
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:49 PM CET
Data provider
This object is provided by:
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Associated
- Wixforth, Achim
- Rocke, C.
- Zimmermann, S.
- Kotthaus, J.P.
- Universität Augsburg
- Elsevier
Time of origin
- 1999
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