Hochschulschrift
Dynamic parameter identification techniques and test structures for microsystems characterization on wafer level
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783941003095
- Maße
-
22 cm
- Umfang
-
184 S.
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2009
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Mikrosystemtechnik
Wafer
Layout
Parameteridentifikation
Eigenfrequenz
Toleranzanalyse
MEMS
Messtechnik
Mikrosystemtechnik
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:ch1-200901902
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:25 MESZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Shaporin, Alexey
- Univ.-Verl.
Entstanden
- 2009
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