Hochschulschrift
Dynamic parameter identification techniques and test structures for microsystems characterization on wafer level
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783941003095
- Dimensions
-
22 cm
- Extent
-
184 S.
- Language
-
Englisch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2009
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
Mikrosystemtechnik
Wafer
Layout
Parameteridentifikation
Eigenfrequenz
Toleranzanalyse
MEMS
Messtechnik
Mikrosystemtechnik
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:ch1-200901902
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
15.08.2025, 7:25 AM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Shaporin, Alexey
- Univ.-Verl.
Time of origin
- 2009
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