Hochschulschrift
Untersuchungen von Reinheitssystemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783540655602
3540655603
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
123 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1998
- Erschienen in
-
IPA-IAO-Forschung und Praxis / Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung ; Bd. 281
- Schlagwort
-
Halbleitertechnologie
Reinraumtechnik
Gasversorgung
Reinstoff
Prozessanalyse
Prozessentwicklung
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Berlin, Heidelberg, New York, Barcelona, Budapest, Hongkong, London, Mailand, Paris, Singapur, Tokio
- (wer)
-
Springer
- (wann)
-
1999
- Urheber
-
Schließer, Jochen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:18 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Schließer, Jochen
- Springer
Entstanden
- 1999
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