Lehrbuch
Praxiswissen Mikrosystemtechnik : Grundlagen - Technologien - Anwendungen ; mit 55 Tabellen
Basistechnologien: Reinraumtechnologie - Substrate und Materialien der Mikrosystemtechnik - Dünnschichttechnologie - Lithographie - Planare Mikrostrukturierung - Dreidimensionale Mikrostrukturierung - Grundstrukturen und Anwendungen - Aufbau- und Verbindungstechniken, Konzepte zur Systemintegration - Ausgewählte Beispiele komplexer Mikrosysteme - Übungen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783528138912
3528138912
- Maße
-
24 cm
- Umfang
-
X, 491 S.
- Ausgabe
-
2., vollst. überarb. und erw. Aufl.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Literaturangaben
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Mikrosystemtechnik
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Wiesbaden
- (wer)
-
Vieweg
- (wann)
-
2006
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
- 11.06.2025, 14:19 MESZ
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Objekttyp
- Lehrbuch
Beteiligte
Entstanden
- 2006
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