Geometrical parameters measurement of surface functionalized micromachined micro-cantilever using optical method

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISSN
2228-5326
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
online resource.

Erschienen in
Geometrical parameters measurement of surface functionalized micromachined micro-cantilever using optical method ; volume:2 ; number:1 ; day:17 ; month:10 ; year:2012 ; pages:1-7 ; date:12.2012
International nano letters ; 2, Heft 1 (17.10.2012), 1-7, 12.2012

Urheber
Kurhekar, Anil Sudhakar
Beteiligte Personen und Organisationen
Apte, Prakash R.
SpringerLink (Online service)

DOI
10.1186/2228-5326-2-25
URN
urn:nbn:de:1111-2016032431325
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:54 MESZ

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Beteiligte

  • Kurhekar, Anil Sudhakar
  • Apte, Prakash R.
  • SpringerLink (Online service)

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