Hochschulschrift
Entwicklung und Charakterisierung eines ionenunterstützten reaktiven Aufdampfverfahrens mit In-situ-HEED-Struktur- und AES-Konstitutionsanalyse der wachsenden keramischen Schicht
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
II, 161 Bl.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Aachen, Techn. Hochsch., Habil.-Schr., 1996
- Schlagwort
-
PVD-Verfahren
Dünne Schicht
Kupfernitride
Elektronenbeugung
Auger-Spektroskopie
PVD-Verfahren
Dünne Schicht
Aluminiumnitrid
Elektronenbeugung
Auger-Spektroskopie
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
- 11.06.2025, 13:59 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
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