Hochschulschrift

Streulicht- und Rastertunnelmikroskop-Untersuchungen an optischen Siliciumoberflächen

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783183259090
3183259095
Dimensions
21 cm
Extent
IX, 109 S.
Edition
Alks Ms. gedr.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 1996

Bibliographic citation
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 259, Reihe 9

Keyword
Silicium
Halbleiteroberfläche
Optische Fläche
Rauigkeit
Lichtstreuung
Rastertunnelmikroskopie

Event
Veröffentlichung
(where)
Düsseldorf
(who)
VDI-Verl.
(when)
1997
Creator
Kumpe, Ralf

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Last update
11.06.2025, 2:11 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

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  • Kumpe, Ralf
  • VDI-Verl.

Time of origin

  • 1997

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