Temperatur- und Fluiddynamiksimulation der Excimer Lasermodifikation nanopartikulärer Silizium Schichten
- Alternative title
-
Temperature and fluid dynamics simulation of the excimer laser modification of nanoparticulate silicon layers
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Duisburg, Essen, Universität Duisburg-Essen, Dissertation, 2023
- Keyword
-
Laserbearbeitung
Silicium
Excimere
Numerische Strömungssimulation
Simulation
Ultrakurzzeitlaser
Laserstrahlung
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Duisburg, Essen
- (who)
-
Universität Duisburg-Essen
- (when)
-
2023
- Creator
- Contributor
- DOI
-
10.17185/duepublico/79274
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:465-20231124-104051-1
- Rights
-
Open Access unbekannt; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
15.08.2025, 7:33 AM CEST
Data provider
This object is provided by:
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Associated
- Neises, Julian
- Benson, Niels
- Universität Duisburg-Essen
Time of origin
- 2023
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