Hochschulschrift
Die Rolle von Ionen und Radikalen bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten : = The role of ions and radicals in plasma enhanced deposition of amorphous hydrogenated carbon films
- Weitere Titel
-
The role of ions and radicals in plasma enhanced deposition of amorphous hydrogenated carbon films
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
133 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
graph. Darst.
Zugl.: München, Univ., Diss., 1995
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Garching bei München
- (wer)
-
Max-Planck-Inst. für Plasmaphysik
- (wann)
-
1995
- Urheber
-
Lange, Klaus
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:39 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Lange, Klaus
- Max-Planck-Inst. für Plasmaphysik
Entstanden
- 1995
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