Hochschulschrift
Die Rolle von Ionen und Radikalen bei der plasmagestützten Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten : = The role of ions and radicals in plasma enhanced deposition of amorphous hydrogenated carbon films
- Alternative title
-
The role of ions and radicals in plasma enhanced deposition of amorphous hydrogenated carbon films
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
30 cm
- Extent
-
133 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Zugl.: München, Univ., Diss., 1995
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Garching bei München
- (who)
-
Max-Planck-Inst. für Plasmaphysik
- (when)
-
1995
- Creator
-
Lange, Klaus
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:39 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Lange, Klaus
- Max-Planck-Inst. für Plasmaphysik
Time of origin
- 1995
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