Grundlegende Untersuchungen zum Excimerlaserstrahl-Abtragen unter Flüssigkeitsfilmen

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Deutsch
Notes
Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), Dissertation, 2008

Bibliographic citation
Fertigungstechnik - Erlangen ; 198

Classification
Industrielle und handwerkliche Fertigung
Keyword
Abtragen
Flüssigkeitsfilm
Produktionstechnik
Maschinenbau
Ingenieurwissenschaften
Ablagerung
Ingenieurwissenschaften
Maschinenbau
Produktionstechnik

Event
Veröffentlichung
(where)
Erlangen
(who)
Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)
(when)
2008
Creator
Contributor
Geiger, Manfred
Geiger, Manfred
Schuöcker, Dieter
Geiger, Manfred
Feldmann, Klaus

URN
urn:nbn:de:bvb:29-opus4-111380
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:45 PM CET

Data provider

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  • Roth, Stephan
  • Geiger, Manfred
  • Schuöcker, Dieter
  • Feldmann, Klaus
  • Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)

Time of origin

  • 2008

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