Monografie
The conductivity behavior of zinc oxide deposited by atomic layer deposition
- Sprache
-
Englisch
- Identifier
-
1156532647
Thema
Zinkoxid; Elektrische Leitfähigkeit; Atomlagenabscheidung; Transparent-leitendes Oxid; Stabilität; Langzeitverhalten; Temperaturabhängigkeit; Wasserstoff; Diethylzink; Dimethylzink; Spezifischer Widerstand
Beteiligte Personen und Organisationen
Beh, Holger
Zacharias, Margit
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg / Fakultät für Angewandte Wissenschaften
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg / Institut für Mikrosystemtechnik
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg / Fakultät für Angewandte Wissenschaften
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Zacharias, Margit
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg / Fakultät für Angewandte Wissenschaften
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg / Institut für Mikrosystemtechnik
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg / Fakultät für Angewandte Wissenschaften
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
- DOI
-
10.6094/UNIFR/15245
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:55 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Beh, Holger
- Zacharias, Margit
- Albert-Ludwigs-Universität Freiburg / Fakultät für Angewandte Wissenschaften
- Albert-Ludwigs-Universität Freiburg / Institut für Mikrosystemtechnik
- Albert-Ludwigs-Universität Freiburg / Fakultät für Angewandte Wissenschaften
- Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
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