The conductivity behavior of zinc oxide deposited by atomic layer deposition

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, Dissertation, 2018

Klassifikation
Physik
Schlagwort
Zinkoxid
Elektrische Leitfähigkeit
Atomlagenabscheidung
Transparent-leitendes Oxid
Stabilität
Langzeitverhalten
Temperaturabhängigkeit
Wasserstoff
Diethylzink
Dimethylzink
Spezifischer Widerstand

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Freiburg
(wer)
Universität
(wann)
2018
Urheber

DOI
10.6094/UNIFR/15245
URN
urn:nbn:de:bsz:25-freidok-152457
Rechteinformation
Kein Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:47 MESZ

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Entstanden

  • 2018

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