Aufsatzsammlung

Resonant MEMS : fundamentals, implementation and application

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783527335459
3527335455
Maße
24 cm
Umfang
XXV, 483 S.
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Literaturangaben

Erschienen in
Advanced micro & nanosystems ; Vol. 11

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik
Schlagwort
MEMS
Nanoelektromechanik
Resonator

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Weinheim
(wer)
Wiley-VCH-Verl.
(wann)
2015
Beteiligte Personen und Organisationen
Brand, Oliver
Dufour, Isabelle
Heinrich, Stephen M.
Josse, Fabien
Fedder, Gary K.
Hierold, Christofer
Korvink, Jan G.
Tabata, Osamu

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
27.01.2026, 15:08 MEZ

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Objekttyp

  • Aufsatzsammlung

Beteiligte

  • Brand, Oliver
  • Dufour, Isabelle
  • Heinrich, Stephen M.
  • Josse, Fabien
  • Fedder, Gary K.
  • Hierold, Christofer
  • Korvink, Jan G.
  • Tabata, Osamu
  • Wiley-VCH-Verl.

Entstanden

  • 2015

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