Bulk and Surface-Related Degradation in Lifetime Samples Made of Czochralski Silicon Passivated by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposited Layer Stacks

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch

Bibliographic citation
In: Physica Status Solidi (A) - Applications and Materials Science ; 215 (2018), 24. - 1800741. - ISSN 1862-6319. - eISSN 1862-6300

Classification
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Event
Veröffentlichung
(where)
Konstanz
(who)
KOPS Universität Konstanz
(when)
2018
Creator
Sperber, David
Schwarz, Anton
Herguth, Axel
Hahn, Giso

URN
urn:nbn:de:bsz:352-2-1pu5i0t2e3buy1
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:49 PM CET

Data provider

This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.

Associated

Time of origin

  • 2018

Other Objects (12)