Hochschulschrift

Berührungslose Oberflächencharakterisierung von Mikrostrukturen

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783832217440
3832217444
Dimensions
21 cm, 210 gr.
Extent
VI, 134 S.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Darmstadt, Techn. Univ., Diss., 2003

Keyword
Oberflächenmessung
Ellipsometrie
Michelson-Interferometer
Laserspiegel
Mehrschichtsystem
Brechungsdispersion
Optische Messung

Event
Veröffentlichung
(where)
Aachen
(who)
Shaker
(when)
2003
Creator

Table of contents
Rights
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
Last update
11.06.2025, 2:29 PM CEST

Data provider

This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.

Object type

  • Hochschulschrift

Associated

Time of origin

  • 2003

Other Objects (12)