Hochschulschrift
Sputterunterstützte Elektronenstrahl-Mikroanalyse : Entwicklung einer Methode zur quantitativen Bestimmung von Tiefenprofilen im Submikrometerbereich
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
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9783826575013
3826575016
- Maße
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21 cm
- Umfang
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II, 116 S.
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000
- Schlagwort
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Tiefenprofilmessung
Elektronenstrahlmikroanalyse
Sputtern
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
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- Letzte Aktualisierung
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11.06.2025, 14:00 MESZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Richter, Silvia
- Shaker
Entstanden
- 2000