Hochschulschrift

RF überlagertes DC-Sputtern von transparenten leitfähigen Oxiden

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, Dissertation, 2013

Schlagwort
Transparent-leitendes Oxid
Dünne Schicht
Hochfrequenzsputtern
Tempern
Transparent-leitendes Oxid
Sputtern

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Chemnitz
(wer)
Universitätsbibliothek Chemnitz
(wann)
2013
Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Chemnitz
(wer)
Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz
(wann)
2013
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Richter, Frank
Weber, Jörg

URN
urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-116687
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:55 MESZ

Datenpartner

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Heimke, Bruno
  • Richter, Frank
  • Weber, Jörg
  • Universitätsbibliothek Chemnitz
  • Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz

Entstanden

  • 2013

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