Direct-write polymer nanolithography in ultra-high vacuum

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource

Erschienen in
Direct-write polymer nanolithography in ultra-high vacuum ; volume:3 ; pages:52-56
Beilstein journal of nanotechnology ; 3, 52-56

Klassifikation
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

DOI
10.3762/bjnano.3.6
URN
urn:nbn:de:101:1-201203237029
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:36 MESZ

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