Untersuchungen zum Präzisionsabtrag mit VUV-Laserstrahlung und ultrakurzen Laserpulsen

Hochschulschrift

Object Details

• Location: Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
• ISBN: 9783183542024 ; 3183542021
• Dimensions: 21 cm
• Extent: IX, 103 S.
• Edition: Als Ms. gedr.
• Language: Deutsch
• Notes: Ill., graph. Darst. ; Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 2000

References and Relationships

• Bibliographic citation: Fortschritt-Berichte VDI / 2 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 542, Reihe 2

Classification and Topics

• Keyword: Polytetrafluorethylene ; Ultrapräzisionsbearbeitung ; Laserablation ; Vakuumultraviolett ; Polytetrafluorethylene ; Ultrapräzisionsbearbeitung ; Laserablation ; Femtosekundenlaser ; Titan-Saphir-Laser ; Saphir ; Ultrapräzisionsbearbeitung ; Laserablation ; Vakuumultraviolett ; Saphir ; Ultrapräzisionsbearbeitung ; Laserablation ; Femtosekundenlaser ; Titan-Saphir-Laser

Contributors, Places and Time

• Event: Veröffentlichung
• (where): Düsseldorf
• (who): VDI-Verl.
• (when): 2000
• Creator: Ostendorf, Andreas

Further information

• Table of contents: https://d-nb.info/959162968/04
• Rights: Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
• Last update: 11.06.2025, 2:09 PM CEST