Hochschulschrift

Untersuchungen zum Sputterprozess anhand simultaner optischer und massenspektroskopischer Messungen an Silizium, Aluminium und Titan

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Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Dimensions
30 cm
Extent
129 Bl
Language
Deutsch
Notes
graph. Darst.
Münster (Westfalen), Univ., Diss., 1986 (Nicht f.d. Austausch)

Keyword
Sputtering
Sputtern

Creator
Arlinghaus, Heinrich

Table of contents
Rights
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Last update
11.06.2025, 2:02 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

Associated

  • Arlinghaus, Heinrich

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