Hochschulschrift

Untersuchungen zum Sputterprozess anhand simultaner optischer und massenspektroskopischer Messungen an Silizium, Aluminium und Titan

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Maße
30 cm
Umfang
129 Bl
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
graph. Darst.
Münster (Westfalen), Univ., Diss., 1986 (Nicht f.d. Austausch)

Schlagwort
Sputtering
Sputtern

Urheber
Arlinghaus, Heinrich

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:02 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Arlinghaus, Heinrich

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