- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783800734528
- Dimensions
-
25 cm
- Extent
-
414 S.
- Language
-
Englisch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Literaturangaben
- Keyword
-
Chemisch-mechanisches Polieren
Chemisch-mechanisches Polieren
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Berlin, Offenbach
- (who)
-
VDE-Verl.
- (when)
-
2012
- Contributor
-
Zwicker, Gerfried
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie
GMM VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- u. Feinwerktechnik
ICPT (2012 : Grenoble)
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.03.2025, 12:28 PM CET
Data provider
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Object type
- CD-ROM
- Konferenzschrift
- Kongress
Associated
- Zwicker, Gerfried
- Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie
- GMM VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- u. Feinwerktechnik
- ICPT (2012 : Grenoble)
- VDE-Verl.
Time of origin
- 2012
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