Hochschulschrift
Photonenaktivierte Reinigungs-und Oxidationsprozesse für die Nanoelektronik
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783867273862
3867273863
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
VI, 135 S.
- Edition
-
1. Aufl.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: München, Univ. der Bundeswehr, Diss., 2007
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
Nanoelektronik
Halbleiteroberfläche
Oberflächenreinigung
Gasphasenreaktion
Excimerlaser
Ausgangsmaterial
Nanoelektronik
Halbleiteroberfläche
Oxidation
Oberflächenreaktion
Excimerlaser
Laserinduziertes Verfahren
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Göttingen
- (who)
-
Cuvillier
- (when)
-
2007
- Creator
-
Aßmuth, Andreas
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:33 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Aßmuth, Andreas
- Cuvillier
Time of origin
- 2007
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