Nd:YAG-Laserstrukturierung in der Silizium-Mikromechanik

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
In: Aachen : Shaker
Braunschweig, Technische Universität Braunschweig, Dissertation, 1999

Erschienen in
Publications Institute of Microtechnology IMT ; 3

Schlagwort
Mikromechanik
Silicium
Laser
Gammastrahlenlaser
Puls
Gas

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Braunschweig
(wer)
Technische Universität Braunschweig
(wann)
2019
Urheber
Dauer, Stefan
Beteiligte Personen und Organisationen

DOI
10.24355/dbbs.084-201901211443-0
URN
urn:nbn:de:gbv:084-2019012114442
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:56 MEZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 2019

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