Hochschulschrift
Detektorkonzepte für miniaturisierte Elektronenstrahl-Lithographiegeräte
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Tübingen, Univ., Diss., 2004
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Elektronenstrahllithografie
Geräteentwicklung
Miniaturisierung
Elektronenoptik
PN-Diode
Rückstreusignal
Lithographie ; Elektronenoptik ; Rückstreusignal ; PN-Diode ; Miniaturisierung
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:21-opus-13529
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:53 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
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