Hochschulschrift
Technologie von MEMS-Elementen auf der Basis nanokristalliner Diamantschichten für eine hybride Integration
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783869552842
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
V, 103 S.
- Ausgabe
-
1. Aufl.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Ulm, Univ., Diss., 2009
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
MEMS
Mikroaktor
Diamant
Dünne Schicht
Nanostrukturiertes Material
CVD-Verfahren
Verbindungstechnik
Hybridtechnik
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:42 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Kusterer, Joachim
- Cuvillier
Entstanden
- 2010
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