Hochschulschrift
Modellbasierte Regelung von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783185179082
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
XVII, 172 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
graph. Darst.
Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2010
- Erschienen in
-
Fortschritt-Berichte VDI / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 1179, Reihe 08
- Schlagwort
-
Positionierantrieb
Präzisionsmessung
Nanometerbereich
Bahnsteuerung
Folgeregelung
Reglerentwurf
Mathematisches Modell
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
19.06.2025, 13:02 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Amthor, Arvid
- VDI-Verl.
Entstanden
- 2010
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