Charakterisierung und Regelung von Hochfrequenz-Plasmen zur Sputterabscheidung unter Berücksichtigung der Elektronendynamik und des Magnetischen Asymmetrieeffekts
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Bochum, Ruhr-Universität Bochum, Dissertation, 2020
- Schlagwort
-
Plasma
Hochfrequenzplasma
Massenresonanz
Plasmadiagnostik
Elektrode
Sputtern
Plasma
Multipolresonanz
Plasmadiagnostik
Hochfrequenzplasma
Sputtern
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Bochum
- (wer)
-
Ruhr-Universität Bochum
- (wann)
-
2020
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Awakowicz, Peter
Brinkmann, Ralf Peter
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:294-73754
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:46 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Oberberg, Moritz
- Awakowicz, Peter
- Brinkmann, Ralf Peter
- Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
- Ruhr-Universität Bochum
Entstanden
- 2020
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