True 3D measurements of micro and nano structures

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
Innovation in mechanical engineering - shaping the future : proceedings ; 1.1.[03]
International scientific colloquium / Ilmenau University of Technology ; 56

Klassifikation
Physik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Ilmenau
(wer)
Universitätsbibliothek Ilmenau
(wann)
2011
Beteiligte Personen und Organisationen
Dai, Gaoliang
Bütefisch, Sebastian
Pohlenz, Frank
Danzebrink, Hans-Ulrich
Flügge, Jens
Universitätsbibliothek

URN
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2011iwk-105:6
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:34 MESZ

Datenpartner

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Beteiligte

Entstanden

  • 2011

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