Hochschulschrift
Optimierung der Prozeßbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL)
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
30 cm
- Extent
-
138 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. S. Achenbach
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Karlsruhe
- (who)
-
FZKA
- (when)
-
2000
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 12:24 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Achenbach, Sven
- Pantenburg, Franz Josef
- Mohr, Jürgen
- FZKA
Time of origin
- 2000
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