Hochschulschrift

Laser based interferometric remote measuring technique for the determination of film thicknesses and film properties

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783826590559
3826590554
Dimensions
21 cm
Extent
X, 166 S.
Language
Englisch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Saarbrücken, Univ., Diss., 2000

Keyword
Dünnschichttechnik
Laserinterferometrie
Schichtdicke
Optische Eigenschaft

Event
Veröffentlichung
(where)
Aachen
(who)
Shaker
(when)
2001
Creator
Feng, Qilong

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Last update
11.06.2025, 2:07 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

Associated

  • Feng, Qilong
  • Shaker

Time of origin

  • 2001

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