Hochschulschrift

Prozessüberwachung und Prozessregelung beim Abtragen von Deckschichten mit Excimerlaserstrahlung

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783826518836
3826518837
Maße
21 cm
Umfang
4, 171 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1995

Schlagwort
Edelstahl
Laserablation
Excimerlaser
Prozessüberwachung
Prozessregelung
Keramischer Werkstoff
Laserablation
Excimerlaser
Prozessüberwachung
Prozessregelung

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Shaker
(wann)
1996
Urheber
Barkhausen, Winfried

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:50 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Barkhausen, Winfried
  • Shaker

Entstanden

  • 1996

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