Hochschulschrift
Plasmaaktivierte Abscheidung harter amorpher Kohlenwasserstoff-Schichten bei verschiedenen Anregungsfrequenzen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183651054
318365105X
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
VIII, 117 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
graph. Darst.
Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2001
- Erschienen in
-
Fortschrittberichte VDI / 5 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 651, Reihe 5
- Schlagwort
-
Kohlenwasserstoffe
PECVD-Verfahren
Dünne Schicht
Amorpher Zustand
Tribologie
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Düsseldorf
- (wer)
-
VDI-Verl.
- (wann)
-
2002
- Urheber
-
Dimer, Martin
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 12:34 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Dimer, Martin
- VDI-Verl.
Entstanden
- 2002
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