Hochschulschrift

Realization of silicon based ultrasound micro-systems

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783896494764
3896494767
Maße
21 cm
Umfang
X, 162 S.
Ausgabe
1. Aufl.
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Zürich, Eidgenössische Techn. Hochsch., Diss., 1999

Erschienen in
Series in microelectronics ; Vol. 86

Schlagwort
Ultraschallwandler
Piezoelektrischer Wandler
Technische Membran
Siliciumbauelement
Mikrosystemtechnik

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Konstanz
(wer)
Hartung-Gorre
(wann)
1999
Urheber

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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:21 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 1999

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