Aufsatzsammlung | Hochschulschrift
Nichtdotierende Anwendungen von Ionenstrahlen in der Halbleitertechnologie
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
30 cm
- Extent
-
33, [115] S.
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Enth. 20 Sonderabdr. aus verschiedenen Zeitschr. und Publ. - Beitr. teilw. dt., teilw. engl.
Erlangen, Nürnberg, Univ., Habil.-Schr., 2004
- Classification
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Keyword
-
Halbleiterwerkstoff
Modifizierung
Ionenimplantation
Ionenstrahllithografie
- Creator
-
Frey, Lothar
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 2:03 PM CEST
Data provider
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Object type
- Aufsatzsammlung
- Hochschulschrift
Associated
- Frey, Lothar
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