Hochschulschrift

Poröses Silizium als Basistechnologie für mechanisch stabile thermisch entkoppelte Membranen

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783980746229
3980746224
Dimensions
21 cm
Extent
IV, 154 S.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2006

Classification
Elektrotechnik, Elektronik
Keyword
Silicium
Nanoporöser Stoff
Entkopplung
Wärmeleitung
Membran
MEMS

Event
Veröffentlichung
(where)
Nürnberg
(who)
AFO-Verl.
(when)
2006
Creator

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Last update
11.06.2025, 1:43 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

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Time of origin

  • 2006

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