Hochschulschrift

Mikrointerferometrie mit Lichtquellen unterschiedlicher spektraler Eigenschaften

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783832272913
Maße
21 cm, 198 gr.
Umfang
VI, 122 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2007

Erschienen in
Schriftenreihe des Instituts für Produktionsmesstechnik, TU Braunschweig / Institut für Produktionsmesstechnik ; Bd. 4

Schlagwort
Mikrosystemtechnik
Prozessüberwachung
Fertigungsmesstechnik
Oberflächenmessung
Dimension 3
Interferenzmikroskopie

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Shaker
(wann)
2008
Urheber

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:05 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2008

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