Metal impurities in silicon device fabrication

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783540583172
3540583173
9780387583174
0387583173
Maße
24 cm
Umfang
IX, 216 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Literaturverz. S. 201 - 214

Erschienen in
Springer series in materials science ; 24

Schlagwort
Siliciumbauelement
Übergangsmetall
Verunreinigung

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Berlin, Heidelberg, New York
(wer)
Springer
(wann)
1995
Urheber

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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:38 MESZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 1995

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