Low‐Temperature Sputtered Ultralow‐Loss Silicon Nitride for Hybrid Photonic Integration

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
In: Laser & Photonics Reviews 18.4 (2023). DOI:10.1002/lpor.202300642
In: Laser & Photonics Reviews 18 : 4

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Erlangen
(wer)
Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)
(wann)
2023
Urheber
Zhang, Shuangyou
Bi, Toby
Harder, Irina
Ohletz, Olga
Gannott, Florentina
Gumann, Alexander
Butzen, Eduard
Zhang, Yaojing
Del'Haye, Pascal

DOI
10.1002/lpor.202300642
URN
urn:nbn:de:101:1-2404260509382.887688379710
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 11:00 MESZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Zhang, Shuangyou
  • Bi, Toby
  • Harder, Irina
  • Ohletz, Olga
  • Gannott, Florentina
  • Gumann, Alexander
  • Butzen, Eduard
  • Zhang, Yaojing
  • Del'Haye, Pascal
  • Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)

Entstanden

  • 2023

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